1、認證的目的和程序
潔凈室工程在設計、建造和驗收投入使用后,為確保潔凈室使用過程中始終能保持規(guī)定的空氣潔凈度等級和綜合性能參數(shù)要求,防止由于潔凈室投入使用后的維護管理不當或潔凈室工作人員誤操作以及潔凈空調系統(tǒng)長期運轉使空氣過濾器性能變化,或者是潔凈室周圍環(huán)境的突發(fā)變化如因房屋拆遷、潔凈室內生產工藝調整、突發(fā)性大氣塵污染甚至沙塵暴的侵襲等各類因索而影響潔凈室的性能參數(shù),所以投入運行后潔凈室的日常監(jiān)測和定期的綜合性能檢測是十分必要的工作,通過檢測以認證潔凈室的綜合性能是否符合設計要求或產品生產所需的綜合性能參數(shù)要求。
(1)潔凈室的綜合性能檢測目的
通過對空氣潔凈度等級等方面的監(jiān)測、記錄,掌握以下內容:
1)確定正常運行。
2)掌握能量使用情況。
3)發(fā)現(xiàn)異常現(xiàn)象并維修。
4)查明發(fā)生污染的原因,測定相關數(shù)據(jù)。
5)產品質量相關的資料。
6)潔凈室的缺點(運行上的缺點等)。
(2)潔凈室的認證程序
1)由業(yè)主委托專門檢測認證單位承擔潔凈室的認證工作。。委托可以是一次性的也可以是階段性的,如一年的委托合約,在在雙方的合約中應明確委托認證的內容、測試要求(含時間間隔等)、檢測認證報告內容和要求、認證檢測的進度安排、各方的責任(包括保密要求等)。
2)認證檢測用儀器儀表必須在標定使用的有效期內。
3)認證檢測之前,潔凈室的各功能系統(tǒng)應達到穩(wěn)定運行,并由業(yè)主提供穩(wěn)定運行的有關記錄。
4)按合約要求逐項進行檢測,并作詳細記錄。記錄應該清晰,并有必要的實測狀況和有關問題的說明。
5)給出認證檢測報告,并明確說明潔凈室是否符合規(guī)定要求及各項綜合性能參數(shù)或計算結果。若檢測結果超過規(guī)定的范圍,說明該潔凈室不合格,檢測認證單位應提供分析意見和改進的建議,由業(yè)主或業(yè)主委托有關單位進行改進、完善,之后應進行再認證。
2、認證內容及測試方法
(1)為了保證潔凈室或潔凈區(qū)運行中始終符合要求,潔凈室(區(qū))認證檢測的基本內容包含空氣潔凈度等級、靜壓差和風速、風量的測定。《潔凈廠房設計規(guī)范》規(guī)定:空氣潔凈度等級≤5級,空氣潔凈度等級認證測試長時間間隔為6個月;空氣潔凈度等級>5級,空氣潔凈度等級認證測試長時間間隔為12個月;靜壓差和風量(風速)認證測試長時間為12個月。
(2)潔凈室檢測認證洽商選擇的測試內容。由于各行各業(yè)的產品生產工藝或潔凈室的實際使用情況的不同,潔凈室(區(qū))認證檢測時不是所有的檢測項目都是必測的檢測內容,應按具體潔凈室的實際情況,由業(yè)主與專門認證單位協(xié)商確定,潔凈室(區(qū))洽商選擇的測試要求如下:過濾器泄漏、氣流流型、自凈時間、污染泄漏、照度、微振的長檢測間隔時間為24個月;溫度、相對濕度、噪聲的長檢測間隔時間為12個月。
對于有微振要求的潔凈室(區(qū)),如集成電路生產用潔凈室,在潔凈室工程投產運行時應進行微振測試,在潔凈室使用過程中是否進行檢測、檢測時間間隔多長,應根據(jù)實際運行情況確定,但當潔凈室(區(qū))內或周圍環(huán)境的振動狀況有變化時,則應即時進行檢測。
3、認證報告及內容
若認證測試結果在規(guī)定值之內,說明該潔凈室符合規(guī)定要求,若測試結果超出規(guī)定值,說明該潔凈室不符合要求須進行改進,在改進完成后應進行再認證。
每次認證測試或再認證測試應做記錄,并提交綜合性能合格與不合格的綜合報告,報應包括以下內容:
(1)測試機構的名稱、地址。
(2)測試日期和測試者簽名。
(3)執(zhí)行標準的名稱編號及出版日期。
(4)被測試的潔凈室或潔凈區(qū)的地址、平面及采樣點的特定編號及坐標圖。