（1）單獨空調(diào)器系統(tǒng)
循環(huán)空氣通過空調(diào)器進行溫、濕度處理后以風(fēng)管直接分送至各HEPA過濾器，但不宜用于過濾器多的系統(tǒng)，空調(diào)器的風(fēng)量一般不會太大。另一種方式是用總風(fēng)管至靜壓箱，如有靜壓箱，宜用于過濾器多的系統(tǒng)，靜壓箱要求密封性好，以免污染物通過過濾器與靜壓箱的安裝接縫處以有不嚴密處漏入至潔凈室，這一點對要求嚴的潔凈室是十分重要的，常設(shè)在靜壓箱上一層屋頂層內(nèi)，以減少送風(fēng)管長度。一般每臺空調(diào)器的風(fēng)量30000-45000m3/h間，以控制噪聲過大，風(fēng)壓（氣壓）一般控制在650-700Pa以內(nèi)。
（2）軸流風(fēng)機豎井式布置，有壓靜壓箱
這種空氣循環(huán)系統(tǒng)主要用于大的IC工廠的潔凈室，由于其風(fēng)量大，過濾器多，每臺軸流風(fēng)機的風(fēng)壓?？刂圃?00Pa左右，以適應(yīng)軸流風(fēng)機低風(fēng)壓、大流量下的運行效率佳并控制其噪音。此系統(tǒng)的特點是綜合投資及運行費用較高，維護管理方便，但靈活性較有效期，另外有壓靜箱的缺點同上。
（3）FFU系統(tǒng)
FFU是近幾年發(fā)展起來的，在使用壽命及維護上已經(jīng)實踐證明無可擔(dān)心。其特點是靈活性大，便于改造，擴展；占用建筑物空間較少；無壓回風(fēng)靜壓室，潔凈室內(nèi)風(fēng)壓大于它的，排除靜壓室對潔凈室漏入污染物。由于運行時的靜壓一般皆在250Pa左右，因此要求系統(tǒng)總阻力（過濾器為初阻力）控制在165Pa左右，即整個回風(fēng)阻力（包括風(fēng)道、各種局部阻力等）控制在65Pa左右，過濾器初阻力控制在約100Pa，融就需再增設(shè)加壓風(fēng)機系統(tǒng)，這就降低了FFU系統(tǒng)的綜合優(yōu)點。
FFU單機風(fēng)量一般在1000-2000m3/h，由于小風(fēng)機所用小容量（功率<1/2Hp）的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，因此運行能效低，現(xiàn)多采用電子正流電機（無刷直流電機）其效率可達75-80%。解決了以往運行能效低的問題，在調(diào)整控制上，可每臺單獨或成組以過濾器壓降進行控制以進一步達到節(jié)能。FFU系統(tǒng)，可用于各行業(yè)的潔凈室，只要回風(fēng)系統(tǒng)阻力及過濾器阻力能合適控制，對小系統(tǒng)往往是可取的；對過濾器滿布率較低（如25%）左右的大面積潔凈室亦采用較多；對過濾器滿布率較高時一般往往是不經(jīng)濟的，滿布率高，意味著風(fēng)量很大，如控制系統(tǒng)阻力，回風(fēng)道要很大，往往在綜合經(jīng)濟上不可取，亦較難實現(xiàn)。